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      江蘇芯夢半導體設備有限公司

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      全自動晶圓盒清洗機

      設備特點、工作原理

      提供各種半導體片盒、FOUP、FOSB清潔方案

      客戶定制清洗方案

      做到360度無死角清洗,并防止細菌滋生

      專項研發雙流體旋轉噴射清洗方式,實現超微精密清洗,最佳節能設計;高效干燥技術,AMC 化合物去除技術

      全生產過程實時監控,兼容自動傳輸系統(AMHS);SEMI通訊標準兼容GEM300,符合SEMI S2、S8標準

      高產量,最優占地面積設計


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